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製品紹介

믿을 수 있는 기업, 씨앤투영의 다양한 제품을 소개합니다.

MMC

Metal Matrix Composites

従来の金属材料とセラミックス材料にない、優れた特性を持つMMC(金属とセラミックスの複合材)を販売しております。
アルミの軽さで鉄の剛性を持ち、低熱膨張、高熱伝導性で放熱性に優れた材料です。
大型部品や複雑形状にも対応が可能です。装置性能をさらに向上させたい、また形状やスペックでお困りの方に、優れた物性を持つMMCがお役に立ちます。

MMCの種類

  • SA Series(鋳造)

    SA 301
    SIC 30% , アルミ 70%
    SA 701
    SIC 40%, アルミ 60%

  • SA Series (浸透)

    SA 701
    SIC 70%, アルミ 30%
    SA001
    SIC 75% , アルミ 25%

  • SA Series(浸透)

    SS501
    SIC 50% , SI 50%
    SA 701
    SIC 70%, SI 30%
    SS702
    SIC 75%, SI 25%

Special Characteristics

  • 軽量・高剛性

    • · 密度：Al並み　2.4～3.0g/㎤(※SA001はAlより軽い)
    • ·ヤング率：鋳鉄～ステンレス以上　120～350GPa

  • 優れた熱特性

    • · 熱膨張係数：３～14 x 10-6/K
    • · 熱伝導率：120～190W/m・K

Special Characteristics

  • SA301 / SA401

    SA301、SA401はアルミニウム合金の中にSiCセラミックス粒子を30または40vol％含有させた複合材料です。
    砂型鋳造ダイカストによる鋳造法で製造します。アルミと同等の軽さで鋳鉄以上のヤング率を持ち、量産小物、大型製品、複雑な 形状にも対応可能です。

    • 特徴
      • 軽量
      • 低熱膨張
      • 振動減衰性
      • 高剛性
      • 高熱伝導
      • 複雑な形状可能
    • 用途
      • 液晶製造装置、検査装置
      • 半導体製造装置、検査装置
      • マウンター、ボンダー装置
      • 工作機械
      • ロボット
      • 各種放熱板
  • SA701

    SA701は、SiC多孔体(70vol%)にアルミニウムを含侵させた複合材料です。アルミと同等の軽さでステンレスの
    1.3倍のヤング率を持ち、熱特性にも優れております。セラミックスよりも大型化が容易で、金属を浸透させることにより、破壊靭性が上がり、
    割れにくくなっております。

    • 特徴
      • 軽量
      • 低熱膨張
      • 振動減衰性
      • 対セラミックス破壊靭性Up
      • 高剛性
      • 高熱伝導
      • 対セラミックス大型化
    • 用途
      • 液晶製造装置、検査装置
      • 半導体製造装置、検査装置
      • マウンター、ボンダー装置
      • 耐摩耗部品(粉砕機ライナー、他)
      • 各種放熱板
  • SA001

    SA001は、Si多孔体(75vol%)にアルミニウムを含侵させた複合材料です。アルミ材よりも軽く、鋳鉄同等の剛性を有し、 かつセラミックス材に近い低熱膨張性を有します。

    • 特徴
      • 軽量
      • 高剛性
      • 低熱膨張
    • 用途
      • 静電チャック台座 l プローブカード部品
  • SA501 / SA701 / SA702

    SS501、SS701、SS702は、SiC多孔体(50～75vol%)に金属シリコンを含侵させた複合材料です。
    SiC比率を変える事でニーズにマッチした物性を実現しました。表面に欠陥がなく、半導体・液晶の製造装置や検査装置に最適です。

    • 特徴
      • 軽量
      • 低熱膨張
      • 高剛性
      • 高熱伝導
    • 用途
      • 液晶製造装置、検査装置
      • 各種放熱版
      • 半導体製造装置、検査装置
      • 光学系部品

MMC 물성비교표

MMC(金属セラミックス複合材料) アルミ 鋳鉄 SUS CERAMIC
鋳造法 浸透法 AC4A
T6		 5052
H34		 FC250 SUS304 99.5%
Al2O3		 SIC
SA301 SA401 SA701 SA001 SS501 SS701 SS702
セラミックス種類
(vol%)		 SiC Si SiC Al2O3 SiC
30 40 70 75 50 70 75
金属種類
(vol%)		 AI SI AI AI Fe Fe
70 60 30 25 50 30 25
密度
(g/㎤)		 2.8 2.9 3.0 2.4 2.8 3.0 3.0 2.7 2.7 7.3 7.9 3.9 3.1
曲げ強度
(MPa)		 --- --- 340 150 300 300 420 --- --- --- --- 440 490
ヤング率
(GPa)		 125 150 260 120 280 330 350 75 70 115 210 370 430
ポアソン比
(-)		 0.29 0.29 0.20 0.29 0.20 0.20 0.20 0.33 0.34 0.28 0.33 0.25 0.16
破壊靭性
(MPa·m1/2)		 15 14 8 3 3 3 3 --- --- --- --- 3 3
熱膨張係数
(X 106)		 14 13 7 9 3 3 3 21.0 23.4 9.8 17.3 7.7 3.1
熱伝導率
(W/m·K)		 150 155 160 120 175 190 170 138 140 50 15 33 140
比熱
(J/g·K)		 0.8 0.9 0.6 0.9 0.8 0.7 0.8 0.9 --- 0.5 0.6 --- ---
体積固有抵抗
(Ω·㎝)		 --- --- 1x10-5 4x10-5 2x10-2 2x10-2 2x10-2 3x10-6 --- 7x10-5 7x10-5 >1014 104
硬度 HB 90 68 <187
HRB 90 93 110 35 83
HRC 35
  • SA301顕微鏡写真
  • SA701顕微鏡写真
  • SS702顕微鏡写真

담당 : 장세준 부장 ( 010 3004 2968 )

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